應(yīng)用概述
高純氣體從存儲(chǔ)，輸送，分配到尾氣處理，都離不開(kāi)壓力監(jiān)測(cè)。麥克傳感全自主研制生產(chǎn)的壓力變送器是精準(zhǔn)獲取高純氣體壓力信息的有力儀表，對(duì)需要保障供氣系統(tǒng)安全、穩(wěn)定、無(wú)污染且滿足工藝制成要求的用戶來(lái)說(shuō)，是理想的選擇。
高純氣體從存儲(chǔ)，輸送，分配到尾氣處理，都離不開(kāi)壓力監(jiān)測(cè)。麥克傳感全自主研制生產(chǎn)的壓力變送器是精準(zhǔn)獲取高純氣體壓力信息的有力儀表，對(duì)需要保障供氣系統(tǒng)安全、穩(wěn)定、無(wú)污染且滿足工藝制成要求的用戶來(lái)說(shuō)，是理想的選擇。
1、高等級(jí)氣體泄露率；
2、長(zhǎng)期穩(wěn)定性及可靠性要求較高；
3、多種腐蝕性氣體介質(zhì)；
4、高潔凈要求；
5、部分設(shè)備安裝空間狹?。?/p>
1、產(chǎn)品密封性高，氦氣泄漏率: ≤5×10-12Pa·m3/s；
2、潔凈度高，生產(chǎn)地點(diǎn)：百級(jí)清潔車(chē)間；
3、表面處理：電拋光，符合SEMI F19；表面光潔度：典型值≤0.13μm 最大值≤ 0.18 μ；
4、耐腐性好，接液材質(zhì)不銹鋼316L VAR+VIM符合SEMI F20；
5、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好，長(zhǎng)期穩(wěn)定性±0.25%FS/年，高EMC防護(hù)等級(jí)，零點(diǎn)可調(diào)；
6、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，緊湊精小，適用于狹小空間。
由于氫氣極易擴(kuò)散、易燃易爆等特性，為保證其運(yùn)輸過(guò)程中的安全性，需要壓力變送器對(duì)其進(jìn)行嚴(yán)格的壓力監(jiān)測(cè)。
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制氮機(jī)/制氧機(jī)多用于電子、醫(yī)療、空調(diào)冷庫(kù)或食品飲料行業(yè)，在制氮機(jī)/制氧機(jī)上的壓力變送器除了監(jiān)測(cè)容器內(nèi)的壓力，還常用于變壓吸附過(guò)程的監(jiān)測(cè)。
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立式/臥式深冷高壓儲(chǔ)罐壓力變送器除了測(cè)量罐內(nèi)壓力，也用于測(cè)量罐體絕對(duì)壓力及低溫泵前后的壓力，以保障系統(tǒng)安全運(yùn)行，差壓測(cè)量是測(cè)量深冷高壓散裝儲(chǔ)罐液位最普遍可靠的方式。
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